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产业报道 INDUSTRY NEWS

中芯集成电路制造（绍兴）有限公司正式签署合资协议
2018 年 3 月 1 日，中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立中芯集成电路制造（绍兴）有限公司（筹），
标志着中芯国际微机电和功率器件产业化项目正式落地绍兴。
随着智能化社会的到来，人工智能、5G 通信、物联网、车载、工控等应用领域市场蓬勃发展。基于特色工艺的微
机电系统是智能化的核心之一，但先进的微机电系统和功率器件芯片制造基地还是国内产业链的薄弱环节。此次签约
的合资项目总投资 58.8 亿人民币，将面向微机电和功率器件集成电路领域，专注于晶圆和模组代工，持续投入研发并
致力于产业化，将建设并形成一个综合性的特色工艺基地，快速占据国内市场领导地位。
中芯国际董事长周子学博士表示 ：“中芯国际在微机电和功率器件特色工艺领域已有近 10 年的耕耘，与绍兴市携
手做大做优这个项目，符合中芯国际打造长三角先进制造业集群的战略目标，我们有信心打造出一个国内领先、世界
一流的特色工艺半导体企业。”

新版ArF受激准分子激光器GT65A可缩短光刻光源中断时间
半导体光刻光源的主要供应商 Gigaphoton 株式会社（总部在日本 木县小山市）发布公告称 , 公司 1 月份已经
向客户供给最新半导体产品以满足近年来不断高涨的需求，面向最先进的液浸式光刻装置的 ArF 受激准分子激光器
“GT65A”1 号机。“GT65A”改善了激光器的稳定使用性能及制程范围，为提高光刻装置的生产性能做出了极大贡献。
GT65A 最多可缩短 50% 的中断时间，这一特征是通过将作为主要模块的腔体寿命延长 30%，并以 Gigaphoton 迄
今为止积累的经验和技术为基础，提高维修效率而实现的。
另外，具有光谱控制功能的稳定化技术“eMPL Solid”，以及控制功能“hMPL”提高了 CD 的均一性，并且优化程序，
使扩展性成为可能。
同时 ,GT65A 实现了不使用氦气的目标，这不仅减轻了环境负荷，而且大幅度降低了未来氦气供给不足以及价格
飞涨的风险，为客户提高环境可持续发展及 CRS 活动做出了贡献。
Gigaphoton 董事长浦中克己说 ：“近年来半导体市场发展良好，提高光刻装置的稼动率成为各厂家的重要课题。我
们将沿着新技术路线图‘RAM Enhancement’，采用新技术，进一步强化并改善光刻光源的可靠性（Reliability）、稼动
率（Availability）、维修效率（Maintainability），为半导体制造业做出贡献。”

Volta —— 晶圆级芯片封装测试探针头
Smiths Interconnect（史密斯英特康）推出一款性能更优化的晶圆
级芯片封装测试探针头——Volta 系列探针头。Volta 产品用于测试蓝牙、
电源管理和数字显示控制器等一系列的集成芯片，以帮助客户能确保
出厂前的芯片质量、规格和性能的完好。
Smiths Interconnect 一直以来与客户紧密合作，共同研发出可用作
探针头的接触器，取代了悬臂和传统垂直探针卡技术，运用世界一流
的电接触技术和专利工程材料以实现更优化的产品性能和生产效率。技术的创新让产品在耐用性及性能方面极具竞争
力，Volta 具备了一系列差异化的优势 ：
• 其独特的设计保证了极短的信号路径，实现低而稳定的接触电阻，高电流承载能力，以及更长的使用寿命。
• 专利的工程塑料”Peek Rigid”和经过机加工的陶瓷材料被用于产品制造，以提升其平面度，从而增加测试平行度。
• 独特的结构设计更易于维护，快速安装，以及现场维修，从而为用户降低使用成本。
• 最先进的 Lid 设计实现在任何地方进行单个芯片测试，并且最大程度降低重复测试后芯片损坏的可能性，这
样就可以在晶圆测试前进行芯片研发。

8 2018年 2/3月 半 导体 芯 科 技 www.cazkreatif.com