Page 35 - SiS_FebMar2018_eMag

封面故事
稀有气体 COVER STORY

供应扩大。同时，还可以通过地质源 了不断扩大的基本应用的矩阵。现在， 的自由生产工厂资源以及第三方生产商
勘探和开发扩大氦气资源。 除了氩气之外，电子应用在所有这些 的合同，管理稀有气体的全部供应链，
从半导体加工开始，稀有气体的 领域的市场需求中占有很大的份额。 以满足电子客户对数量和质量的需求。
惰性性质显得至关重要。随着行业在 林德是提供这些所需气体技术的 林德将通过继续成为其领域的创新者，
技术复杂性上的发展，稀有气体填补 供应商的领导者。林德利用世界上最大 来满足客户持续发展的需求。

新一代远程尘埃颗粒传感器APS3

CyberOptics 公司推出新一
代 300mm 远程尘埃颗粒传感器
（Airborne Particle Sensor，APS3）技术。
这种 WaferSense APS3 可通过实时无
线检测，识别和监测空气中的微粒，
有助于加快半导体工厂的设备设置并
提高长期收益率。WaferSense APS3

已是一种广为人知的方法，与传统的
晶圆表面扫描法相比，已被证实可节
省时间高达 90%、节省成本 95%，以 半导体工厂和 OEM 设备厂商都依 据，进一步简化了工程师的工作。
及高达 20 倍的产量。 靠我们经过验证的 WaferSense APS3 WaferSense 测量产品包括自动调
APS3 测量设备现在更轻薄，可 技术来显著提高产量。现在 APS3 平系统（ALS）、自动凝视系统（AGS）、
轻松地穿过半导体工具，同时提供业 测量设备变得更薄更轻，并将其与 自动振动系统（AVS）、自动教学系
界领先的精度和灵敏度，已被全球的 ParticleSpectrum 软件包结合在一起， 统（ATS），APS3 和新型自动多传
设备和工艺工程师所重视。 该软件拥有一个全新的具有触摸功能 感器（AMS），这些将根据不同尺寸
CyberOptics 总裁兼首席执行 的界面，用户友好，可实时读取、记 晶圆提供相应货源，包括 150mm，
官 Subodh Kulkarni 博士表示，全球 录和反复检查从小到大的气体颗粒数 200mm 和 300mm。

上接第26页

地的供应加上临近的供应预案，为客 作为材料供应商，联华林德对整 流程出现不明原因变化时作为参考。
户提供完整的供应链。 个供应链做了严格的质量把关，在原 2018 年是非同寻常的一年，整
我们的许多产品，其中包括掺 材料来源与电子材料制造之间创造质 个电子行业迎来了业务扩张的东风，
杂剂和光刻气体，都是高精度的混 量价值。 我们的质量要求还延伸到了 中国市场也将涌现出前所未有的新项
合气体。在今年的展台上，我们将 我们的工厂之外，我们将展示比对鉴 目组合。秉承“全球的专业背景，本
介绍这些已经扩展的产品能力，以 定化学分析技术的新发展，该技术让 地的合作伙伴”理念，联华林德将与
及材料混合、罐装准备和分析所需 我们能够记录潜在未知微量杂质的广 中国客户共同发展。欢迎广大客户及
的技术。客户依赖我们的流程精度 谱数据。联华林德利用这一流程来检 业界同仁在今年的 SEMICON China
来实现高产出。 测整个供应链的变化，也可以在客户 上与我们共同探讨技术未来。

www.cazkreatif.com 半 导体 芯 科 技 2018年 2/3月 33