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技术
I o T应用 TECHNOLOGY
无线传感器网络
使半导体晶圆制造厂保持高效率运行
问题
对半导体晶圆制造至关重要的是细致、准确地沉积多
层化学材料，以形成数千、数百万甚至在有些情况下是数
十亿个晶体管，构成各种各样复杂的集成电路 (IC)。在制
造这些 IC 的过程中，每一步都要精确计量不同的化学气
体，而气体使用量差异会很大，这是由不同的工艺所决定。
在大多数情况下，这些步骤是高度自动化的。有趣的是，
尚未自动化的竟然是一个非常简单的步骤，这就是“保持
气体充足供应”。
图2. 半导体制造厂中的气罐机柜 - 无线节点必须在无处不在的金属和重型混
凝土结构中可靠运行。
在 ADI 公司位于美国加利福尼亚州圣何塞附近的硅
谷制造厂中，用于晶圆制造的专用气罐超过 175 个。这
些气罐受到了密切监视，以确保不中断供气。供气意外中
断会导致价值数十万美元的晶圆报废、损失收入并使产品
交付出现不可接受的延迟。为了避免停机，技术人员每天
3 次手工记录工厂中每个气罐的压力。这种手工流程容易
出现人为差错，维护成本也很高。
以前使用这种手工数据记录方法是因为人们认为通
信系统配线很昂贵，在工厂中使用是不现实的。气罐在工
厂中到处都是，而且大多数气罐附近都没有 AC 电源插座
图 1. 半导体公司利用实时监视，竭力提高制造过程的效率。 或以太网插口。出于安全和抗震原因，用混凝土墙建造了
作者：Ross Yu, ADI公司Dust Networks产品部产品市场经理
Enrique Aceves, ADI公司远程办公设施经理
www.cazkreatif.com 半 导体 芯 科 技 2018年 2/3月 43
