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技术
TECHNOLOGY 工厂设施 www.cazkreatif.com

□ 首次申请 □ 更新资料 □ 年度续订 读者编号： □ 是的，我希望得到免费的赠阅的杂志
约蒸汽，纯水系统吸收空压余热的热 1月份 2月份 12月份 合计 □ 不，暂时我只看这一期
量，达到所需要的温度。 2006年 1339503 1670507 2222527 5232537 姓 名： □ 是的，我愿意收到的电子快讯
( 二 ) 夏天及过渡时期 ：夏季温 冷冻水用量 2007年 1713451 1467536 1933871 5114858 公司名称：
（吨） 2008年 2001225 1638087 1146180 4785492 部 门： 职 务： □ 是的，我希望收到电子版
度高于 25℃实施冷冻机余热量的回收
平均数量 1684726 1592043 1767526 5044296
□公司
利用，即实施冷却水代用热水，节约 代冷冻水用量 地 址：
□家庭
2010年 1525340 1417084 2942424
蒸汽。即在非冬季 3 ～ 11 月份实施 （吨） 签名：
冷却水代用热水，停止空调热交换站 6月份 7月份 8月份 9月份 10月份 合计 邮 编： 国 家： 日期： 年 月 日
蒸汽加热，节约蒸汽。 空调机组 2006年 3391 2949 2776 2940 3292 15348 电子邮件：
蒸汽用量 2007年 3210 2792 2628 2783 3117 14530 网上索阅读者注意，为了方便网上发行统计和核实及代替
（吨） 2008年 3039 2643 2488 2635 2951 13757 电 话： 分 机： 阁下的签名，请回答：
三、节能效果 平均数量 3214 2795 2631 2786 3120 14545 手 机： 我的出生日期最后的两位数是:
（一）冬天 ：冷却水代用冷冻水 改造后 2010年 0 0 0 0 0 0
实施前 ： 年节约蒸汽 14545 请回答下列各项问题，否则申请无效
正常冷冻机组运行设备功耗为 ： 注：2010年5月18日停运蒸汽，7-10月份运行工况优于5月份。
1. 我的主要工作是（请选择最适当的一项）： 2. 我的公司或机构是（请选择最适当的一项）：
主机 3132 kW + 冷冻水系统 加热，因此 6 ～ 10 月份蒸汽平均用 果显著。但改造后原闭式系统变成开
1725 kW + 冷却水系统（包括冷却塔） 量为 14545 吨。 式系统，垃圾通过冷却塔进入管路系 02 □ 公司运营和工厂管理 01 □ 芯片制造厂
1769 kW =6626 kW。 实施后 ： 统，对空调加热器和表冷器的正常工 04 □ 晶圆厂制造工艺和生产 03 □ 半导体封装及测试厂
实施后 ： 当夏季温度高于 25℃时，利用 作产生不利影响。为避免这种情况发 08 □ 封测工艺和生产 05 □ 半导体制造/测试设备供应商
当冬季温度低于 14℃时，利用 冷却水经冷却塔散热后，其 40℃左 生，我们在管路上加装自清洗过滤器， 20 □ 工厂/设备/维护工程 07 □ 材料/化学品/硬件制造商与销售商
冷却水经冷却塔散热后，其 10℃左右 右的回水用来替热水，去进行空调机 冷却塔出来的水进入空调机前，先经 12 □ 可靠性，品质控制，评估和测试 09 □ 研发/教育机构
的回水用来替代冷冻水，去进行空调 组的加热工况。达到节约蒸汽目的。 过过滤，将其中的杂质清除，这样既 16 □ 研发 11 □ 政府及军方
机组的去湿工况。达到停开冷冻机目 （其原理是向大自然要热量） 能达到节能效果，又不影响空调机的
22 □ 采购 17 □ 元器件或部件封装/组装
的。（其原理是向大自然要冷量） 6 ～ 10 月份蒸汽用量为 0 吨。 正常工作。同时，为防止因阀门泄漏
14 □ 设计 21 □ 电子产品制造商
代运后设备功耗为 ：冷却水（包 即实施冷冻机余热综合利用可 而引起冷水和热水的串通，在过滤器
10 □ 设备和材料的制造 27 □ 工业控制系统或设备制造商
括冷却塔）1769 kW。 节约蒸汽 14545 吨。 进出口冷水热水管道上分别安装法兰
24 □ 咨询 25 □ 其他，请填写_________________________
年节能率为＞ 228 万吨冷水（主 （三）冬季 11 月～次年 4 月 短管，不用时将短管拆除，两端用盲
30 □ 其他，请填写________________________
要在 1、2、12 月）。 份 ：年节约蒸汽 12338 吨，冷冻水 法兰闷死，确保万无一失。而对于纯
3
（二）夏天 ：冷却水代用热水 457498m 。 水系统的加热，因仍是封闭的系统，
3. 我具授权、影响或购买下面相关项目中的产品：（可选择多项）
实施前 ： 对纯水系统无任何污染，能节能并安
A □ 原材料/化学品
为确保恒温恒湿工艺区域的工 四、节能项目实施后存在问题的解决 全稳定的运行。 A □ 原材料/化学品 G □ 真空设备
艺要求，空调机组需要用蒸汽来进行 冬季冷水和热水的代用，节能效 B □ 气体/气体处理 H □ 自动化/软件
B □ 气体/气体处理
C □ 光刻 I □ 封装设备
C □ 光刻
空压余热综合利用（15台）
D □ 热处理/离子注入
空压需冷量 进水温度 余热量（万 预热温升 预热后温度 节约蒸汽量 月节约蒸汽 节约冷冻水 月节约冷冻水 D □ 热处理/离子注入 J □ 测试设备/部件/模块
月份 天数 3 3
（万kcal/h） （℃） kcal/h） （℃） （℃） （t/h） 量(t/月) 量（m /h） 量（m /月） E □ 沉积 K □ 其他，请填写________________________
E □ 沉积
1 24 276 6 526.4 7.84 13.84 4.44 2555 202.4 0
F □ 刻蚀/CMP
2 28 276 10 394.8 7.84 17.84 4.44 2981 202.4 136013 F □ 刻蚀/CMP
3 31 276 16 197.4 6.00 22.00 3.17 2360 154.8 115171
4 10 276 19 98.7 3.00 22.00 1.59 381 77.4 18576
11 20 276 19 98.7 3.00 22.00 1.59 761 77.4 37152 (建议填写)申请人所在单位有关负责人
12 31 276 10 394.8 7.84 17.84 4.44 3300 202.4 150586
合 计 12338 457498
节约蒸汽=12338t/年，
年回收余热 3
节约冷冻水=457498m /年
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